CPU

CPU 负责执行构成计算机程序的指令，执行这些指令所指定的算术、逻辑、控制和输入/输出（I/O）操作。

MCU (microcontroller unit)

不同的 MCU 架构如下，注意这里的 MPU 表示 memory protection unit

MPU (microprocessor unit)

不同的 MCU 架构如下，注意这里的 MMU 表示 memory management unit

SoC (system-on-chip)

SoC 比 MCU 和 MPU 更为复杂，其中 NPU，GPU，MMPU，等是可选的。

引用：
[1]: What the FAQ are CPUs, MPUs, MCUs, and GPUs?