MOC和MCS通讯流程分析

半导体行业-SECS/GEM协议

半导体设备通讯SECS协议是由国际半导体设备与材料协会（SEMI）的会员一起构建的连接性标准。它最初是为了在半导体/电子行业的自动化中实现设备与主机系统之间的通信而制定的。

SECS/GEM不仅允许客户查看设备的功能，还能查看设备何时、如何以及使用什么来完成任务。此外，SECS/GEM协议已有40多年的历史，被部署在数千台设备中，经过时间的验证，证明了其在实际应用中的可靠性和稳定性。

常用SECS指令Strem的分类

Stream 1 Equipment Status：设备状态

S1F1 询问是否可连接（使用S1F2应答是否可连接），S7F1 进程程序加载查询
S1F3 请求设备状态，S7F3 发送加工程序
S1F5 请求Formatted(格式化)状态，S7F5 请求加工程序
S1F7 请求Fixed()状态，S7F7 请求加工程序ID
S1F9 请求原料传输状态，S7F9 请求原料或工艺路线
S1F11 请求变量名称列表，S7F11 发送原料或工艺路线
S1F13 请求建立通信 S7F13 ，发送原料或工艺路线入口
S1F15 请求离线 S7F15 ，发送工艺路线Mode
S1F17 请求在线 S7F17 ，删除加工程序
S1F19 获取属性 S7F19 ，请求当前设备的加工程序的资料
S1F23 查询可用事件列表(新版本内容)

Stream 2 Equipment Control and Diagnostics：设备控制和诊断；

S2F1 查询 Service程序负载 S7F21 获取设备加工程序能力
S2F3 请求发送Service程序 S7F23 发送格式化加工程序的命令
S2F5 请求 Service程序加载 S7F25 请求格式化加工程序
S2F7 请求 Service程序运行 S7F27 发送加工程序验证
S2F9 请求 Service程序运行结果 S7F29 查询加工程序验证结果
S2F11 获取 Service程序的资料 S7F31 发送加工程序验证请求
S2F13 请求设备常量Constant S7F33 请求可用的加工程序
S2F15 发送新设备常量Constant S7F35 请求 Mid$的加工程序
S2F17 请求数据和时间 S8F1 请求启动程序
S2F19 请求重置或初始化 S8F3 请求执行程序
S2F21 请求远程控制 S9F1 无法识别的设备Id
S2F23 请求初始化Trace(跟踪) S9F3 无法识别的Stream类型
S2F25 请求回路诊断 S9F5 无法识别的Function类型
S2F27 启动处理请求 S9F7 非法数据
S2F29 请求设备常量名称列表 S9F9 事务计时器超时
S2F31 请求日期和时间设置 S9F11 数据太长
S2F33 定义报告 S9F13 对话超时
S2F35 给事件设定事件组 S10F1 请求终端
S2F37 订阅/退订事件 S10F3 终端单个显示
S2F39 多块(Multi-block)查询 S10F5 终端Multi-block(多个)显示
S2F41 发送 Host主机命令 S10F7 不允许Multi-block(多块)
S2F43 重置后台Streams和Functions S10F9 广播 Map设置的数据
S2F45 定义可变的限制属性 S12F1 发送 Map设置的数据
S2F47 请求可变的限制属性 S12F3 请求 Map设置的数据
S2F49 请求创建数据报告 S12F5 查询 Map传输
S2F51 请求删除数据报告 S12F7 Map数据发送类型1
S2F53 请求创建Trace(跟踪) S12F9 Map数据发送类型2
S2F55 请求删除Trace(跟踪) S12F11 Map数据发送类型3
S2F57 请求收集 Link (连接)事件 S12F13 Map数据请求类型1
S2F59 请求收集 UnLink (断开连接)事件 S12F15 Map数据请求类型2
S2F61 请求重置 Trace(跟踪) S12F17 Map数据请求类型3
S2F63 请求强制远程控制 S12F19 Map错误报告

Stream 3 Material Status：原料状态

Stream 4 Material Control：原料控制

Stream 5 Exception Handling：异常处理

Stream 6 Data Collection：数据采集

S6F1 发送 Trace(跟踪)数据 S15F41 请求修改 DRNS记录器
S6F3 发送离散型变量数据 S15F43 请求获取DRNS变更
S6F5 查询 “发送的多块(Multi-block)数据” S15F45 请求批准DRNS变更
S6F7 请求“数据传输” S15F47 请求重建DRNS管理器
S6F9 发送“Formatted(格式化)变量” S16F1 查询多块(Multi-block)加工程序数据
S6F11 发送事件报告（设备上传数据） S16F3 请求创建加工程序
S6F13 发送注释事件报告 S16F5 请求控制加工程序
S6F15 请求事件报告 S16F7 加工程序警告通知
S6F17 请求注释事件报告 S16F9 加工程序事件通知
S6F19 请求特定报告 S17F1 请求创建数据报告
S6F21 请求带注释的个人报告请求 S17F3 请求删除数据报告
S6F23 请求后台数据 S17F5 请求创建Trace(跟踪)
S6F25 发送通知报告 S17F7 请求删除Trace(跟踪)
S6F27 发送 Trace(跟踪)报告 S17F9 请求收集 Link(链接)事件
S6F29 请求 Trace(跟踪)报告 S17F11 请求收集 UnLink(断开连接)事件

Stream 7 Process Program Management：工艺程序管理

Stream 8 Control Program Transfer：控制程序传输；

Stream 9 System Errors：系统错误；

Stream 10 Terminal Services：终端服务

名词解释

AMHS: Automatic Material Handling System 自动物料搬运系统
MCS： Material Control System 物料管理系统
OHTC: Overhead Hoist Transporter Controller 天车控制系统
OHT: Overhead Hoist Transporter 悬挂式天车（天车）
AGV: Automated Guided Vehicle 自动导引运输车
PGV: Person Guided Vehicle 人工搬送小车
RGV: Rail Guided Vehicle 有轨穿梭小车
OHS: Over Head Shuttle 穿梭天车

事件

在这里插入图片描述

事件名称

在这里插入图片描述

MES有搬运请求，MCS下达指令，MOC开始执行一系列动作，每执行一个动作都会反馈给MCS，MCS根据MOC的反馈也会将数据报告反馈给MES（开始移动–>上天车的位置变化—>下天车的位置变化–>移动结束）

机台LP/OHB–>机台LP/OHB

SxFyy 的形式通常用于表示SECS/GEM协议中的命令或消息格式

x 可能表示消息类型或来源（如设备到主机、主机到设备等）
F 可能是一个固定的标识符，而 yy 是一个两位数的编号，用于区分不同的命令或消息

S6F11 用于设备向主机发送事件报告或数据
S6F12 通常用于主机对S6F11消息的响应或确认

SEMI E84规范

在这里插入图片描述

转移流程

Normal Transfer（正常转移）

MCS下发S2F49运输命令–> MOC开始执行一系列的动作
初始化运输命令 --> 分配小车 --> 天车到达起点 --> 标志运输开始 --> 开始取货 --> 安装卡匣 —> 取货完成 --> 识别卡匣ID --> 天车出发 --> 天车到达终点 --> 开始放下货 --> 移除卡匣 --> 放货完成 --> 天车漫游 --> 运输完成 -->

在这里插入图片描述

Reroute（变更路线）

在这里插入图片描述
FOUP仍然处于起点也不在VHL中，VHL此时也没有到达获取点或还没有分配VHL

FOUP仍然在起点也不在VHL中，但是VHL正在获取

FOUP已经在VHL中，且VHL已经在出发去目的路径上了

FOUP已经在VHL中， VHL即将出发去目的地
在这里插入图片描述
FOUP已经在VHL中， VHL已经在出去目的地路径上了且VHL开始离开