德国MUNK电源维修主要系列：ΡKA2，DCAC100，AS100，HS100，ESA2000， HSG2000，E230 G60/45；E230 G100，D400 G100全系列型号。

常见维修型号包括：D400 G100/75WRG-TFMYCT14；MUNK GmbH D400 G100/100 WRG-TFMYCT14；MUNK GmbH D400 G100/50 WRG-TFMYCT；E230 G60/45 WRG-TFMYCT24等。

对于单靶或者单弧源来说，可以进行直流和单HiPIMS高能脉冲、直流和单脉冲以及单脉冲和单HiPIMS高能脉冲叠加，实现共溅射的功能。直流和单HiPIMS高能脉冲叠加。

对于双靶来说，可以进行更多种的叠加，比如双脉冲和双HiPIMS高能脉冲、单脉冲和双HiPIMS高能脉冲(Bias偏压同步)、双HiPIMS高能脉冲/双脉冲和单脉冲(Bias偏压同步)、单HiPIMS高能脉冲/双脉冲和单脉冲(Bias偏压同步)、双HiPIMS高能脉冲和RF(Bias偏压同步)以及单HiPIMS高能脉冲和RF(Bias偏压同步)叠加等。

激光电源维修常见故障情况诊断：

高压打火,高压线接头处太靠近铁壳部分。

无光,风扇不转。保险丝断。

可以强制发光,不能主板控制发光。前级低压控制部分坏。

电流不能调节,电流控制部分坏。

总是烧元件,属于功率管短路坏。

测量电源箱外壳对操作台或工作台之间是否存在电压差；

电源输入的插头不能插错（老电源或主控箱可能会出现航插一样，其功能不一样，插错航插可能会引起内部控制板烧坏或内部器件损坏）