PFA容量瓶在半导体晶圆化学机械抛光中的用处是什么?

PFA容量瓶又称可溶性聚四氟乙烯容量瓶、特氟龙容量瓶容量瓶,有螺纹和插口两种可供选择,常用有10ml、25ml、50ml、100ml、250ml、500ml、1000ml规格

Teflon系列PFA容量瓶是一个透明的长颈瓶,瓶体为梨形,便于摇荡液体和刷洗。每一个PFA容量瓶上的刻度线都是用千分之一的电子天平称量、标注。

广泛用于ICP-MS、ICP-OES等痕量分析以及同位素分析等实验包括环境监测,半导体、多晶硅、光伏电子 锂电池行业均适用。各类检测实验室中,PFA材质性能好,不会影响试验样品的纯净度。半导体化学机械抛光中常用于配置清洗液蚀刻液。

作为半导体行业中常用材质,那么PFA容量瓶的特点有哪些呢?

1.良好的透明性,稳定,肉眼可以看到瓶内容积平滑的表面,瓶内外壁平滑,易于清洗,不粘附样品,瓶口瓶内壁处不容易有液体残留;

2.瓶口和瓶盖密封好,配套的螺纹盖紧密倒置或侧放液体都不会渗漏;

3.耐强酸、强碱、王水、各种实验室常用强腐蚀酸和各种有机溶剂;

4.低本底低析出:溶出和析出,本底低可达到ICPMS的低检测限,是储存标准物质、强腐蚀性、昂贵超高纯试剂的器皿;

5.耐高低温:使用温度-200~+260℃;

6.防污染:金属元素值低,其中的金属元素例如铅、铀含量小于0.01PPb

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