这个问题在Design Rule中的介绍如下图:
解决办法是od 15 um的范围要加LUP_GR* cell,需要提高密度(加的位置需要符合tcic)去fix。
这个问题在Design Rule中的介绍如下图:
解决办法是od 15 um的范围要加LUP_GR* cell,需要提高密度(加的位置需要符合tcic)去fix。
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