维修包括：PECVD、MOCVD、IONIMP,PLASMA的设备电源,包括直流、高压、脉冲、射频、微波、匹配器、RPSC、CHILLER等。电源维修的时候，需要检测一下各功率器件是否存在击穿短路，例如电源整流桥堆、开关管、高频大功率整流管、浪涌电流的大功率电阻是否烧断等，然后需要再检测各输出电压端口电阻是否异常，如上述器件有损坏的情况我们则需要进行更换器件。

等离子清洗机的原理是等离子体和材料表面进行相互作用的过程，通过等离子体里面的各类活跃粒子撞击材料表面，从而大大提高材料表面的性能。

等离子表面改性之后，其材料表面会变得更加粗糙，它让材料表面发生了刻蚀，在一定程度上满足了人们对材料表面的清洗要求。等离子清洗技术要比其他类型的清洗方式要更具优势，能够大限度的满足人们多元化的需求。

其次，经过等离子表面清洗之后，材料表面就会更具有反应性，在这个过程中，活粒子在撞击材料表面之后，其分子间的化学键就会被打开，然后产生大量的大分子基，说白了这个过程就是让材料表面更加洁净，例如可提升玻璃表面的亲水性。

等离子清洗设备还可以通过利用对气体施加足够的动力使之离化成为等离子状态，利用这些活跃组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等的目的。

通常应用在以下行业里：

1、如生物医学领域，细胞培养皿表面可借助等离子清洗处理，提升表面亲水性和表面的润湿性；

2、新能源线路板领域，可提升表面的键合力等；等离子清洗技术还可以应用在电子器件的制造，特别是电子传感器和连接器。在封装之前用等离子表面处理是非常有用的，因为它可以增强其物理结合性能，并确保了可靠的密封性。等离子处理机是利用等离子高能粒子与材料表面发生物理和化学反应, 可以实现对材料表面进行蚀刻、除污等工艺处理, 起到提升表面粘合和亲水性等作用。

3、生物芯片领域，借助等离子精细化处理，可清洗表面的残留物，很好洁净表面，等离子清洗机，它可以使承印物的表面有更高的附着性，像大多数塑料薄膜等材料属基团聚合物，表面张力较低已知的油墨与粘合剂都无法在上面附着牢固，因此要对其表面进行等离子清洗处理，使塑料分子的化学键断裂而降解，增加表面粗糙度。放电时还会产生大量的臭氧，臭氧是一种强氧化剂，能使塑料分子氧化，产生羰基与过氧化物等较强的基团，从而提高了其表面性能。等离子表面处理机可以用于印刷或粘合前处理，可以提高产品的可靠性和一致性，等离子可以优化大多数表面的润湿性，例如铝和铜涂层，通过等离子表面优化其润湿性，可大大优化塑料表面上用油墨进行涂漆或印刷的力度。

针对半导体设备电源，主要有高压电源（High Power Supply）、框架式可控大功率直流电源（DC Power Supply）、开关电源，线性直流电源，射频电源(RF Generator)、微波发生器(Microwave Power Supply)及RF Match等设备电源维修。